德國(guo)Leybold真空計

今天(tian)，真空技(ji)術已經能(neng)獲得(de)從(cong)1000毫(hao)巴(ba)帶10-13毫(hao)巴(ba)的超真空。為(wei)保證(zheng)穩(wen)定、高(gao)質(zhi)量的(de)生(sheng)產和(he)工藝，必須(xu)采(cai)用(yong)精(jing)確(que)的測量和(he)控制儀(yi)器(qi)來檢(jian)測(ce)與調(tiao)整所(suo)需(xu)要的工(gong)作壓強。萊(lai)寶公(gong)司作為(wei)全(quan)系(xi)列的真空設備供(gong)應(ying)商，擁(yong)有(you)應(ying)用(yong)各種工(gong)作原理(li)的(de)真空計，其測量範圍(wei)從(cong)1000毫(hao)巴(ba)到10-12毫巴(ba)，覆蓋(gai)了15個數量級(ji)，可(ke)以滿足(zu)各種真空工藝的(de)要求。

德(de)國(guo)Leybold真空計的介(jie)紹：
萊(lai)寶真空計TTR91，萊(lai)寶TTR91真空計，TTR91萊(lai)寶真空計，真空規(gui)管，皮拉(la)尼(ni)計(ji)德(de)國(guo)萊(lai)寶真空計有(you)：
- 用(yong)於(yu)測(ce)量粗真空的各種工(gong)作原理(li)的(de)機械(xie)指針式真空表(biao)。
- 各種間接(jie)測(ce)量的(de)數顯真空規(gui)，它(ta)們是(shi)：
- 熱(re)電(dian)阻(zu)真空規(gui)(皮(pi)拉(la)尼(ni)規(gui)) TTR91、TTR91S、TTR96、TTR96S- 冷(leng)陰(yin)極電離(li)真空規(gui)(潘(pan)寧(ning)規(gui)) PTR225- 薄(bo)膜(mo)電(dian)容(rong)規(gui) CTR100、CTR91- 薄(bo)膜(mo)/皮(pi)拉(la)尼(ni)復(fu)合規(gui) TTR100、TTR100S
- 冷(leng)陰(yin)極電離(li)/皮拉(la)尼(ni)復(fu)合規(gui) PTR90
- 熱(re)陰(yin)極電離(li)/皮拉(la)尼(ni)復(fu)合規(gui) ITR90
- 便攜式真空表(biao)TM90、TM100
- 新(xin)型(xing)Center和(he)Display系列真空計
德國(guo)萊(lai)寶Leybold真空計TTR91SDN16KF系列(lie)：
- 各種間接(jie)測(ce)量的(de)數顯真空規(gui)，它(ta)們是(shi)：
- 熱(re)電(dian)阻(zu)真空規(gui)(皮(pi)拉(la)尼(ni)規(gui)) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S- 冷(leng)陰(yin)極電離(li)真空規(gui)(潘(pan)寧(ning)規(gui)) PTR225- 薄(bo)膜(mo)電(dian)容(rong)規(gui) CTR100/CTR91- 薄(bo)膜(mo)/皮(pi)拉(la)尼(ni)復(fu)合規(gui) TTR100/TTR100S
- 冷(leng)陰(yin)極電離(li)/皮拉(la)尼(ni)復(fu)合規(gui) PTR90
- 熱(re)陰(yin)極電離(li)/皮拉(la)尼(ni)復(fu)合規(gui) ITR90
- 便攜式真空表(biao)TM90/TM100

德(de)國(guo)Leybold真空計的分類：
真空計可分為(wei)真空計和相(xiang)對真空計兩大(da)類。凡(fan)能(neng)從(cong)其本身(shen)測(ce)得的(de)物理(li)量（如液(ye)柱高(gao)度(du)、工作液(ye)、比(bi)重(zhong)等(deng)）直(zhi)接(jie)計(ji)算出(chu)氣(qi)體壓力(li)的(de)稱真空計，這種真空計測量精(jing)度(du)較高，主(zhu)要用(yong)作基準量具。相(xiang)對真空計主要利用(yong)氣(qi)體在低(di)壓力(li)下的(de)某(mou)些物理(li)特(te)性(xing)（如熱(re)傳(chuan)導(dao)、電(dian)離(li)、粘滯(zhi)性(xing)和(he)應(ying)變(bian)等）與壓(ya)力的關系間接(jie)測(ce)量，其測量精(jing)度(du)較低(di)，而且(qie)測量結(jie)果還(hai)與(yu)被測(ce)氣(qi)體種類(lei)和(he)成(cheng)分有(you)關。
因此(ci)相(xiang)對真空計必須(xu)用(yong)真空計標定和校準後方能(neng)用(yong)作真空測量。但它能(neng)直接(jie)讀出(chu)被測(ce)壓力，使(shi)用(yong)方便，在實際應(ying)用(yong)中(zhong)占(zhan)絕大(da)多數。真空技(ji)術需要測量的(de)壓(ya)力範圍(wei)為(wei)105～10-11帕，甚(shen)至更小(xiao),寬(kuan)達(da)16個數量級(ji)以(yi)上,尚(shang)無(wu)壹種真空計能(neng)適用(yong)於(yu)從(cong)粗真空（105～102帕）、低(di)真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高(gao)真空（小(xiao)於(yu)10-5帕(pa)）到*真空（小(xiao)於(yu)10-10帕(pa)）的全(quan)範圍(wei)測(ce)量,因(yin)而(er)有(you)多種真空計。zui常用(yong)的(de)有(you)U形(xing)管真空計、壓縮(suo)式真空計、電阻(zu)真空計和冷(leng)熱(re)陰(yin)極電離(li)真空計。U形管真空計用(yong)以(yi)測(ce)量粗真空和低(di)真空的真空計（圖(tu)1）。
在U字(zi)形(xing)的玻璃(li)管中(zhong)充(chong)以工(gong)作液(ye)（低(di)蒸氣(qi)壓(ya)的(de)油、汞(gong)）。管的壹端(duan)被抽(chou)成(cheng)真空（或(huo)直接(jie)通(tong)大(da)氣(qi)），另壹端(duan)接被(bei)測真空系統。根據兩(liang)邊(bian)管中(zhong)的(de)壓(ya)差所(suo)造(zao)成(cheng)的液(ye)柱差可(ke)測(ce)出(chu)被測(ce)真空系統的(de)壓力。壓縮式(shi)真空計又稱麥克(ke)勞(lao)真空計，是壹種測(ce)量低(di)真空和高真空的真空計。這種真空計壹般(ban)用(yong)硬(ying)質(zhi)玻璃(li)制成(cheng)（圖(tu)2a）。A是(shi)壹根與(yu)被測真空系統相(xiang)連(lian)接的(de)開管，D、B為(wei)內徑(jing)相(xiang)同的毛(mao)細管，V為(wei)球泡(pao),其體積遠大(da)於(yu)毛(mao)細管。測量時(shi)，通(tong)過活塞(sai)2抽(chou)真空，然後用(yong)活(huo)塞(sai)1充(chong)氣(qi),使(shi)汞(gong)儲存器(qi)C中(zhong)的(de)汞(gong)上升(sheng)到(dao)覆沒(mei)交叉(cha)口ΜΜ′，則D、V和(he)B、A內(nei)的氣(qi)體被隔(ge)成(cheng)兩個區域(yu)。再充(chong)氣(qi)繼續(xu)提(ti)高(gao)汞(gong)液(ye)面(mian),D、V內(nei)的(de)氣(qi)體則進(jin)壹步(bu)被(bei)壓縮(suo)，壓力增高。這(zhe)樣(yang)D、B間存在的(de)壓(ya)差可(ke)由(you)汞(gong)柱高(gao)度(du)差來表(biao)示(shi)（圖(tu)2b）。
玻璃(li)容(rong)器(qi)的體積和(he)毛(mao)細管的高度(du)是可精(jing)確(que)測出(chu)的，所(suo)以(yi)用(yong)玻意耳(er)定(ding)律即可(ke)算出(chu)被測(ce)壓力。測(ce)量精(jing)度(du)較高,在10-3帕(pa)時(shi)的精(jing)度(du)小(xiao)於(yu)或(huo)等於(yu)5％。電(dian)阻(zu)真空計又稱皮喇(la)尼(ni)真空計，是壹種測(ce)量低(di)真空的相(xiang)對真空計，主要由電(dian)阻(zu)式(shi)規(gui)管和測量線路(lu)兩(liang)部(bu)分組成(cheng)。電阻(zu)式(shi)規(gui)管（圖(tu)3）是(shi)在管殼內封(feng)裝著壹條(tiao)電阻(zu)溫(wen)度(du)系數較大(da)的電(dian)阻(zu)絲，常(chang)用(yong)的(de)為(wei)鎢或(huo)鉑絲。測(ce)量時(shi)，規(gui)管與被測真空系統相(xiang)接，用(yong)壹定(ding)的(de)電壓(ya)、電流加熱(re)電(dian)阻(zu)絲，其表(biao)面(mian)溫(wen)度(du)可用(yong)電(dian)阻(zu)值來反(fan)映(ying)，且(qie)與周圍(wei)的(de)氣(qi)體分子的熱(re)傳(chuan)導(dao)有(you)關，而氣(qi)體分子的熱(re)傳(chuan)導(dao)又與壓(ya)力有(you)關。當(dang)被測壓(ya)力(li)降低(di)時，由(you)氣(qi)體分子傳走(zou)的(de)熱(re)量減(jian)小(xiao)，電阻(zu)絲表(biao)面(mian)溫(wen)度(du)就(jiu)增高，電(dian)阻(zu)值增大(da)；反之(zhi)，電阻(zu)值減(jian)小(xiao)。因此(ci)根據電(dian)阻(zu)值的大(da)小(xiao)就(jiu)可測量出(chu)壓力(li)。熱(re)陰(yin)極電離(li)真空計通(tong)稱電離(li)真空計，主要用(yong)於(yu)高(gao)真空測量。
它(ta)是(shi)由圓(yuan)筒式(shi)熱(re)陰(yin)極電離(li)規(gui)管（圖(tu)4）和(he)測量線路(lu)兩(liang)部(bu)分組成(cheng)。這種規(gui)管與三極電(dian)子管相(xiang)似，有(you)3個(ge)電(dian)極(ji)：陰(yin)極（燈絲）、螺旋形柵極(ji)（加速極）和(he)圓筒形(xing)收集極(ji)。測量時(shi)，規(gui)管與被測真空系統相(xiang)連(lian)。通(tong)電後(hou)，熱(re)陰(yin)極發(fa)射電(dian)子，在飛(fei)向(xiang)帶正(zheng)電(dian)位(wei)的加速極的(de)路程(cheng)中(zhong)與(yu)管內空間的(de)低(di)壓氣(qi)體分子碰(peng)撞,使(shi)氣(qi)體分子電離。電(dian)離所(suo)產(chan)生(sheng)的(de)電子和離子,分別在加速極和(he)收集極(ji)（帶負電位(wei)）上形(xing)成(cheng)電子流Ie和(he)離(li)子流Ii。在被(bei)測(ce)氣(qi)體壓力(li)低(di)於(yu)10-1帕(pa)的狀況下,當(dang)電子流Ie恒(heng)定(ding)時(shi)，離子流Ii與(yu)被(bei)測真空系統中(zhong)的(de)氣(qi)體分子密度(du)（亦即壓(ya)力(li)p）成(cheng)正(zheng)比(bi)。因(yin)此(ci),離子流的(de)大(da)小(xiao)就(jiu)可作為(wei)壓力(li)的度(du)量。
這(zhe)種真空計的測(ce)量範圍(wei)為(wei)10-1～10-5帕。此(ci)外,還有(you)測(ce)量上(shang)限(xian)能(neng)達102帕(pa)以上(shang)的(de)高(gao)壓(ya)力(li)電離(li)真空計。這種電(dian)離(li)真空計在工(gong)作時，陰(yin)極發(fa)射的(de)電(dian)子撞擊加速極時(shi)產生(sheng)軟性(xing)X射線，照射到(dao)收集極(ji)上時(shi)便引起(qi)收集極(ji)的光(guang)電(dian)子發(fa)射，因(yin)而(er)就(jiu)在離(li)子流測(ce)量回(hui)路(lu)中(zhong)增(zeng)加壹個(ge)與(yu)被測(ce)壓力無關的剩余光(guang)電流IX,限(xian)制測(ce)量下限(xian)的擴(kuo)展(zhan)。
為(wei)了減(jian)少這種軟X射線對(dui)收集極(ji)的影響，人(ren)們又研制出(chu)BA式電(dian)離規(gui)管（圖(tu)5）。它(ta)是將收集極(ji)改(gai)為(wei)針形，並與(yu)陰(yin)極的位(wei)置對(dui)換，這樣(yang)使(shi)光電(dian)流IX大(da)為(wei)減(jian)少，使(shi)壓力(li)測(ce)量下限(xian)從(cong)10-5帕(pa)擴(kuo)展(zhan)到10-8帕(pa)左右，從(cong)而(er)解(jie)決了超高真空測量的(de)問題(ti)。冷(leng)陰(yin)極電離(li)真空計壹種測(ce)量高(gao)真空的相(xiang)對真空計。
它由(you)電離(li)規(gui)管和測量線路(lu)兩(liang)部(bu)分組成(cheng)（圖(tu)6）。規(gui)管壹般(ban)由(you)兩塊(kuai)平行(xing)的陰(yin)極、壹個(ge)環形的陽極(ji)和(he)產(chan)生磁(ci)場的磁(ci)鋼構(gou)成(cheng)。在電(dian)極(ji)之間加有(you)高(gao)壓(ya)直(zhi)流電(dian)場，而整個規(gui)管的電極系(xi)統又置於(yu)垂直電極平面(mian)的磁(ci)場中(zhong)。在正(zheng)交(jiao)電(dian)場和磁(ci)場的作用(yong)下，由(you)低(di)壓氣(qi)體分子電離產(chan)生的放電(dian)電(dian)流是(shi)被(bei)測壓力的函(han)數，所(suo)以(yi)放(fang)電(dian)電流的(de)大(da)小(xiao)可作為(wei)壓力(li)的度(du)量。